Impedans
Firma Impedans se specializuje na výrobu produktů pro charakteristiku plazmového výboje. Systémy od Impedans nacházejí své uplatnění v oblasti základního výzkumu, vývoje, designu přístrojů, kontroly procesů, detekce závad a klasifikace (FDC), a to v mnoha odvětvích, od polovodičového průmyslu, vakuového potahování, při výrobě lékařských přístrojů nebo v oblasti letectví a kosmonautiky.
Produkty
- Sondy pro detekci RF frekvence, měření pracovního cyklu v reálném čase, měření průměrného výkonu, napětí, proudu, impedance plasmového výboje i RF pulsní monitorování – např. sondy Octiv
- Sondy pro měření klíčových fyzikálních parametrů objemového plazmatu, jako je potenciál plazmatu, hustota nabitých částic (elektrony & ionty) a elektronová teplota – toto vše poukazuje na chování plazmatu při vlastním procesu, jako jsou depozice atd. – např. Langmuir sondy, Plato
- Sondy pro měření procesu na povrchu substrátu – měření toku iontů a funkce distribuce energie iontů dopadajících na povrch v reálném čase pomocí imitovaného substrátu s integrovanými senzory, případně i v kombinaci s integrovanou mikrovahou křemenného krystalu (QCM), který se používá k měření funkce distribuce energie iontů a poměru iontově neutrální depozice na povrchu uvnitř plazmového reaktoru – např. systémy Semion, Vertex či Quantum
Využití
- polovodičový průmysl
- vakuové potahování
- výroba lékařských přístrojů
- letectví a kosmonautika
