K používání a měření webu využíváme cookies. Používáním tohoto webu souhlasíte se způsobem, jakým s cookies nakládáme. Další informace

Excimerové lasery

Výrobce

Typické využití

Aktivní prostředí

Režim

Délka pulsu

Spektrální oblast

Excimerové lasery

Excimerové lasery jsou zvláštní skupinou pulzních plynových laserů vyzařujích na vlnových délkách v ultrafialové (UV) části spektra v závislosti na použitém plynu (excimeru). Lasery se kromě vlnové délky liší energií v pulzu, opakovací frekvencí a tudíž i středním výkonem, který se pohybuje od W až po jednotky kW.

Výstupní vlnové délky excimerových laserů jsou:

  • 157nm F2 Fluor
  • 193nm ArF Argon Fluor
  • 248nm KrF Krypton Fluor
  • 308nm XeCl Xenon chlór
  • 351nm XeF Xenon Fluor

Excimerové lasery generující záření v UV oblasti se používají pro povrchové úpravy, např. pro ablaci a značkování, vytvrzování, polovodičovou výrobu, výrobu vláknových prvků (např. Braggovy mřížky).

IndyStar

IndyStar

Kompaktní excimerový laser s opakovací frekvencí až 2kHz, energií až 12mJ a výstupem na 193 nebo 248 nm

COMPex

COMPex

Kompaktní excimerový laser s energií v pulzu 750 mJ a opakovací frekvencí až 100 Hz

Coherent ExciStar

Coherent ExciStar

Coherent ExciStar představuje kompaktní excimerový laser navržený pro jednoduchou integraci se zbytkem systému.

LEAP

LEAP

LEAP je excimerový laser od společnosti Coherent, který v sobě spojuje vysoký výkon, vynikající spolehlivost a nízké provozní náklady.