In situ elipsometr iSE
| VÝROBCE: |
|
J.A. Woollam CO. | KATEGORIE: |
Spektroskopický elipsometr iSE od J.A. Woollam je určený speciálně pro real-time in-situ charakterizaci vrstev. Využívá se například pro charakterizaci kinetiky růstu tenkých vrstev ve vakuových komorách. Umožňuje mimo jiné zjištění optických vlastností materiálů jako komplexní index lomu, ale také určení tloušťky vrstev.
iSE s technologií Dual-Rotation měří optické vlastnosti tenkých vrstev během jejich růstu se sub-angströmovou citlivostí ve zlomku sekundy. Rychlou a přesnou detekci zajišťuje CCD detektor, který umožňuje měřit celé spektrum (v rozsahu 400-1000 nm) současně. Elipsometr iSE je vhodný pro měření široké škály materiálů, včetně kovů, polovodičů, oxidů, nitridů a dalších.
Hlavní přednosti
- In-situ konfigurace s jednoduchou integrací na komoru
- Kompaktní design
- Příznivá cena
- Rychlé, přesné, nedestruktivní měření celého spektra současně
- Real-time monitoring kinetiky růstu vrstev
- Vhodný pro širokou škálu materiálů
Máte zájem o In situ elipsometr iSE
Potřebujete radu?
Rychlé, širokospektrální měření 
iSE využívá inovativní kombinaci Dual-Rotation™ s moderní CCD detekcí zajišťující kontinuální multi-zonální měření na stovkách vlnových délek během zlomku sekundy.
Přesnost
Měření založená na spektroskopické elipsometrii využívají změny polarizačního stavu světla, což pro měření v reálném čase implikuje významné výhody oproti intenzitním měřením:
- Přesnost (accuracy) naměřených dat není ovlivněna coatingem na průzorech
- Sběr přesných dat i při dopadu jen části svazku (stačí částečný dopad světla na detektor)
- Vysoká citlivost i na velmi tenké vrstvy díky fázovému měření
Související články
Optická charakterizace nanostruktur
Webinář: Spektroskopická elipsometrieSouvisející produkty
Mapovací elipsometr Theta-SE
Spektroskopický elipsometr RC2
Spektroskopický elipsometr M-2000
Elipsometr alpha 2.0
Mapovací elipsometr RC2® XF s mikrofokusem
VASE ElipsometrMáte zájem o In situ elipsometr iSE? Potřebujete radu?
Pomůže Vám specialista sekce Richard Schuster, případně využijte naše další kontakty.