Zákaznická rovinná zrcadla pro 30 J, 30 fs, 810 nm petawatový laserový svazek
- Rovinná zrcadla o rozměrech 440 x 290 mm, celkem 13 ks
- Rovinnost povrchu < 90 nm P-V, < 18 nm RMS, drsnost povrchu Rq < 1 nm
- Vakuová kompatibilita 1E-6 mbar, <0.1% RH; 20°C
Zadání a požadavky klienta
Zakázková výroba 5 kusů substrátů rovinných zrcadel s opcí až na celkových 13 kusů dle výkresové dokumentace zadavatele. Jednalo se o substráty z materiálu HPFS 7980 mirror grade o velikosti 440 x 290 mm, tl 75 mm.
Byla požadována vakuová kompatibilita 1E-6 mbar.
Naše řešení
Postupná dodávka zákaznické optiky dle rámcové smlouvy v období od 12/2020 do 09/2021. Každé zrcadlo bylo dodáno včetně provedených testů prokazujících dodržení předepsaných specifikací a kvality. V rámci reportů byla deklarována interferometrická měření kvality povrchu, mikro drsnosti, S-D report, proměření rozměrů včetně tolerancí a certifikát k použitému materiálu.
Parametry zařízení
- Rovinné zrcadlo
- S-D 20-10 dle MIL-PRF-13830B with REVISION "H"
- Materiál HPFS 7980 mirror grade
- Rovinnost P-V < 90nm POWER REMOVED, P-V < 125nm
- Rovinnost RMS < 18nm POWER REMOVED for spatial periods >3mm
- RMS gradient < 2urad for spatial periods 3 to 33 mm
- Mikrodrsnost Rq
- Vakuová kompatibilita 1E-6 mbar, <0.1% RH;20°C; třída čistoty 100
Související produkty
Projekt vedl
Martin Klečka
Kontaktovat obchodníka s podobným projektem
Role optixs v projektu
- Návrh řešení
- Dodání systému
Klient
FZU centrum ELI
Termín realizace
Září 2021