- Optixs
- Produkty
- Měření povrchů a vrstev
- Spektroskopické elipsometry
- Mapovací elipsometr Theta-SE
Mapovací elipsometr Theta-SE
VÝROBCE: | J.A. Woollam CO. | KATEGORIE: |
Spektroskopický elipsometr Theta-SE s technologií Dual-Rotation a plně automatizovaným mapovacím theta-theta stolkem umožňuje měření uniformity vrstev u vzorků o průměru až 300 mm. Stiskem jediného tlačítka získáte kompletní a přesné optické vlastnosti vrstev v celé měřené ploše se sub-angströmovou citlivostí. Rychlou a přesnou detekci zajišťuje CCD detektor, který umožňuje měřit celé spektrum (v rozsahu 400-1000 nm) současně.
Plně autonomní polohování vzorku, včetně automatického nastavení náklonu a výšky, umožňuje snadné ovládání a rychlé měření optických vlastností. Kompaktní design, vysoká rychlost měření a spolehlivost naměřených dat dělají z Theta-SE ideální nástroj za příznivou cenu.
Hlavní přednosti
- Automatizované mapování uniformity vrstev
- 300 mm mapovací stolek
- Fokusovaný optický svazek
- Rychlé a plně autonomní zarovnání vzorku
- Kompaktní design
- Příznivá cena
- Rychlé, přesné, nedestruktivní měření
- Technologie Dual-Rotation
Máte zájem o Mapovací elipsometr Theta-SE
Potřebujete radu?
Parametry
Design | Dual Rotation | |
Úhly dopadu (AOI) | Typicky 65° | |
Rychlost sběru dat | až 0,6 s (Typicky 1 - 2 s) | |
Detektor | CCD | |
Maximální rozměry | 520 mm x 520 mm x 385 mm | |
Spektrální rozsah | 400 - 1000 nm | |
Počet vlnových délek | 190, celé spektrum měřeno současně | |
Rozsah mapování | ø 300 mm | |
Fokusace na povrch vzorku | ano, s automatickým ostřením | |
Automatické nastavení vzorku | ano, náklony (tip&tilt) a výška (z) |
Rychlý mapping
Theta-SE je průkopníkem mezi cenově dostupnými, přesnými a rychlými mapovacími spektroskopickými elipsometry s pokročilými možnostmi analýzy dat díky profesionálnímu spektroskopickému softwaru CompleteEASE. Systém je vybaven fokusační optikou pro nominální velikost fokusovaného bodu 250 x 600 μm. Data z celého waferu tak můžete mít v řádu minut.
Dual-Rotation
Naměřená data umožnují díky použité technologie Dual-Rotation vyhodnocování na základě standardní i zobecněné spektroskopické elipsometrie i výpočet Muellerovy matice v celém spektru.
Spektrální rozsah
Široký spektrální rozsah (400 - 1000 nm) je plně dostačující pro naprostou většinu standardních tenkých vrstev, včetně vrstev kovů, dielektrických vrstev a multivrstev, oxidů, 2D materiálů typu grafénu atd.
Dokumenty
Související články
Související produkty
Máte zájem o Mapovací elipsometr Theta-SE? Potřebujete radu?
Pomůže Vám specialista sekce Richard Schuster, případně využijte naše další kontakty.