Nanopositioning platform NPP-1

The extremely stable NPP-1 planar positioning platform from Sios Messtechnik is primarily designed for mounting an AFM (or other type of sensor). It is a platform with a large range and precise interferometric position measurement. The platform can be fitted with virtually any type of sensor that requires stable, repeatable and accurate sample positioning.

Key features

2.5-D positioning and measuring system with highest accuracy and stability
Measuring and positioning range: Ø 100 mm
Lateral measurement resolution ≤ 0.02 nm
Control: 3 differential laser interferometers
Metrological repeatability due to stabilized HeNe lasers
Open device architecture allows the use of customized sensors (typically AFM)
User interface: Sios Software/API interface

Typical applications

Nanopositioning, nanomanipulation, nanostructuring
Processing and measurement of microelectronic and micromechanical components
Measurement of optics, microsystem technology with nanometer precision over large spatial scales
continuous AFM scanning over large areas

Odborný poradce

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Zaslat poptávku

OptiXs care

Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis

S čím dalším můžeme pomoci

Parametry

Platforma pro nano měření a polohování NPP-1 umožňuje polohování v rozsahu ~100 mm. Vysoké rozlišení laserových interferometrů používaných pro zpětnou vazbu polohování, rigidní architektura polohovacího uspořádání, osy polohovacího systému na vzduchových ložiscích a optimalizovaný řídicí systém umožňují odchylky polohy a věrnost dráhy pohybu < 2 nm RMS.

Měřený objekt je umístěn přímo na pohyblivém zrcadle. Poloha a natočení zrcadla jsou doměřovány interferometricky.

V tomto systému se používají ultra-stabilní interferometry řady SP-DI/F. Světlo stabilizovaného laseru je přenášeno optickými vlákny z elektronické jednotky do jednotlivých hlav interferometru. Výsledkem je kompaktní a teplotně stabilní konstrukce JE-1.

S užitečným zatížením až 5 kg lze pomocí této platformy s vysokou přesností polohovat i větší a těžší objekty.

Princip nanopolohovacího systému NPP-1 je navržen tak, aby byl škálovatelný, a proto lze systém na požádání přizpůsobit.

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.