Optický litograf Microwriter ML3 Baby Plus

---

Zadání a požadavky klienta

Sestava umožňující zápis struktur s vysokým poměrem stran (výška/rozlišení) při velkoplošném zápisu. Autofokusace, vysoká hloubka ostrosti a automatická změna rozlišení.

Sestava vhodná pro mikrofluidiku i lab-on-a-chip aplikace, ideální pro tvorbu prototypů.

Možnost vícenásobného zápisu s přesným zarovnáním.

Možnost zápisu ve stupních šedi (3D struktury).

Zdroj osvitu vhodný pro širokou škálu fotorezistů (g-, h-, i- line a broadband fotorezisty).

Stabilní systém pro časově náročné, velkoplošné zápisy ve vysokém rozlišení.

Naše řešení

Pro zadání od klienta jsme zvolili Microwriter ML3 Pro od britského výrobce Durham Magneto Optics Ltd. (DMO).

Jedná se o sestavu vhodnou pro mikrofluidiku i pro mikrokontaktování, MEMS, vlnovody či lab-on-a-chip aplikace.

Zdroj osvitu s vlnovou délkou 385 nm a vysokým optickým výkonem umožňuje zápis na běžné g-line a h-line fotorezisty, ale také oblíbený i-line fotorezist SU-8 a další.

Funkce integrovaného profilometru umožňuje mj. ověření zápisu po vyvolání struktury.

Mezi další klíćové parametry patří možnost zápisu ve stupních šedi, objektiv 10x pro vysoké rozlišení (1 µm) a druhý objektiv s velkou hloubkou ostrosti pro struktury s vysokým poměrem výšky a šířky (rozlišení 5 µm).

Dodanou sestavu je v budoucnu možné rozšířit na vyšší rozlišení, o teplotní stabilizaci, virtuální promítání masky, možnost zarovnání dle markerů na zadní straně waferu, druhou vlnovou délku osvitu a další funkcionality.

Parametry zařízení

• Vlnová délka zdroje: 385 nm
• Rozlišení zápisu: 1 µm a 5 µm
• Počet objektivů: 2 (zvětšení 3x až 10x)
• Další funkce: Wide field viewer, integrovaný profilometr, autofocus, focus lock, virtuální rotace, automatické centrování vzorku, automatická detekce hran

Související produkty

Další fotografie