KLA Instruments
KLA Instruments je americký výrobce špičkových systémů pro metrologii povrchů, určených pro výzkumné laboratoře v akademické i průmyslové sféře. Nabízí rozsáhlé portfolio přístrojů profilometrů, nanoindentorů, přístrojů pro měření tloušťky tenkých vrstev a plošného odporu tenkých vrstev.
www.kla.com
Produkty
- Nanoindentory pro testování mechanických vlastností
- Přístroje Filmetrics® pro měření tenkých vrstev
- Kontaktní profilometry Tencor®
- Nástroje pro měření plošného odporu tenkých vrstev
Využití
- Charakterizace tenkých vrstev
- Topografie povrchu
- Vývoj a výzkum
- Mikroelektronika a fotovoltaika