KLA Instruments

Alpha-Step® D-500 Stylus Profiler

Alpha-Step® D-500 je stylusový profilometr schopný měřit 2D výšku stupňů od několika nanometrů do 1200 µm. Podporuje také 2D měření drsnosti, zakřivení a napětí tenkých vrstev. Je vybaven manuálním stolem (140 mm) a pokročilou optikou s barevnou kamerou s vysokým rozlišením.

Alpha-Step® D-600 Stylus Profiler

Alpha-Step® D-600 je stylusový profilometr schopný měřit 2D a 3D výšku stupňů od několika nanometrů do 1200 µm. Podporuje také měření drsnosti, zakřivení a napětí tenkých vrstev. Je vybaven motorizovaným stolem pro vzorky do 200 mm a pokročilou optikou s barevnou kamerou s vysokým rozlišením.

Tencor® P-17 & Tencor® P-17 OF

Tencor® P-17 je stolní stylusový profilometr 8. generace s možností měření výšky stupňů od několika nanometrů do 1 mm. Nabízí 2D a 3D měření výšky, drsnosti, zakřivení a napětí tenkých vrstev až do průměru 200 mm bez stitchingu.

Tencor® P-7 Stylus Profiler

Tencor® P-7 je stolní stylusový profilometr s rozsahem měření výšky stupňů od několika nanometrů až do 1 mm. Podporuje 2D a 3D měření výšky, drsnosti, zakřivení a napětí bez nutnosti skládání snímků při skenech do 150 mm.

Filmetrics® F40

Filmetrics® F40 promění váš mikroskop v nástroj pro měření tenkých vrstev. Umožňuje měřit tloušťku, optické konstanty a odrazivost během několika sekund, s velikostí měřicího bodu až 1 µm, vhodné pro strukturované, zakřivené a nehomogenní vzorky.

iMicro® Nanoindentor

iMicro® Nanoindentor je přesný a flexibilní přístroj pro testování mechanických vlastností v nanoměřítku. Umožňuje provádět nanoindentaci, měření tvrdosti, scratch testy a univerzální nanomechanické testy. Díky vyměnitelným aktuátorům pokrývá široký dynamický rozsah síly a posuvu – od měkkých polymerů po tvrdé kovy a keramiku.

iNano® Nanoindentor

iNano® Nanoindentor usnadňuje měření tenkých vrstev, povlaků a malých objemů materiálů. Přesný, flexibilní a uživatelsky přívětivý přístroj provádí širokou škálu mechanických testů v nanoměřítku – včetně indentace, měření tvrdosti, scratch testů a univerzálního testování.

Nanoindentor® G200X

Nanoindentor® G200X je snadno použitelný tester mechanických vlastností v nanoměřítku, který rychle poskytuje přesné a kvantitativní výsledky. Umožňuje testování široké škály vzorků od tvrdých povlaků po měkké polymery a nabízí nejucelenější sadu testů v produktové linii nanoindentorů KLA Instruments.

Filmetrics® F54-XY-200 a F54-XY-300

Řada Filmetrics® F54-XY poskytuje automatizované mapování tloušťky tenkých vrstev, indexu lomu, odrazivosti, absorpce a drsnosti povrchu na vzorcích až do 300 mm.

Filmetrics® F54

Filmetrics® F54 kombinuje mikroskopickou velikost měřicího bodu přístroje F40 s integrovanou kamerou a automatizovaným mapováním vzorků do průměru 450 mm pomocí R-Theta stolu a pokročilého systému spektrální reflektance.

Filmetrics® F20

Filmetrics® F20 je přístroj pro analýzu tenkých vrstev, měří tloušťku a optické vlastnosti materiálů v rozsahu od 1 nm do 3 mm. Zařízení funguje na principu interference světla na tenkých vrstvách a multivrstvách.