VASE Elipsometr
VÝROBCE: | J.A. Woollam CO. | KATEGORIE: |
VASE® je řada přesných, univerzálních a spolehlivých spektroskopických elipsometrů od amerického výrobce J. A. Woollam pro výzkum všech typů materiálů. Je optimalizovaná pro měření v oblasti Brewsterova úhlu díky kombinaci RAE a patentované technologii AutoRetarder. Poradí si s polovodiči, dielelektriky, polymery, kovy i multivrstvami.
Kromě vysoké přesnosti měření vyniká širokou variabilitou a spektrálním rozsahem – od 193 do 4000 nm.
Nastavitelná vlnová délka a úhel dopadu umožňují flexibilní měření mj. v těchto oblastech:
- Reflexní a transmisní elipsometrie
- Zobecněná elipsometrie (Anizotropie, Retardance, Dvojlomnost)
- Intenzitní měření: reflektance (R) a transmitance (T)
- Křížová polarizace (R/T)
- Depolarizace
- Optická skaterometrie
- Muellerova matice
Máte zájem o VASE Elipsometr
Potřebujete radu?
Parametry
Maximální přesnost dat:
VASE je spektroskopický elipsometr s proměnným úhlem a s rotačním analyzátorem (RAE) doplněný o patentovaný AutoRetarder® pro bezkonkurenční přesnost dat.
Vysoká preciznost výběru vlnové délky:
Monochromátor HS-190TM je navržen specificky pro spektroskopickou elipsometrii. kromě vylepšené rychlost, přesnosti vlnové délky a průchodnosti světla přináší automatickou kontroly výběru vlnových délek a spektrálního rozlišení.
Flexibilní měření
VASE je vybaven svislým držákem vzorku, který pojme širokou škálu geometrií měření včetně odrazu, přenosu a rozptylu.
Specifikace
- Vertikální držák vzorku
- Počítačově řízený úhel dopadu goniometru (20° – 90°)
- Monochromátor s jednou nebo dvěma komorami
- Spektrální rozsah 250 - 2500 nm (single chamber monochrom.) až 193 - 4000 nm
- AutoRetarder®: patentovaná technologie pro zaručení největší přesnosti
Doplňky
- DUV od 193 nm
- NIR až do 3200 nebo 4000 nm
- Motorizované i manuální posuvy XY i rotace
- Fokusace měřicího svazku
- Kamera pro lokalizaci stopy svazku na vzorku
- Kryostat (4,2 až 500 K nebo 4,2 až 800 K)
- Liquid stage
- Elektrochemická cela
- Řízení teploty (Linkam stage -70 ° C až +600 ° C)
- a další (viz stránky výrobce)