K používání a měření webu využíváme cookies. Používáním tohoto webu souhlasíte se způsobem, jakým s cookies nakládáme. Další informace

Nový, rychlý mapovací elipsometr od Woollam

Richard Schuster 09. 08. 2019 Produktové novinky
Nový, rychlý mapovací elipsometr od Woollam

Americký výrobce J.A.Woollam Co. představil žhavou novinku na poli spektroskopických elipsometrů, dedikovanou pro rychlé mapování tenkých vrstev. Nový elipsometr Theta-SE využívá pro sběr elipsometrických dat nejnovější technologii Dual-Rotation a pro mapování využívá unikántího, patentovaného Dual-Theta stolku.

Tento unikátní design umožňuje velmi kompaktní provedení celého přístroje, v němž naleznete mimo jiné i fokusační nástavce, sestavu pro plně automatizované a extrémně rychlé zarovnání vzorku (motorizované osy z, tip, tilt; kamera, automatické rozpoznání obrazu a náklonu) a CCD detektor pro rychlý záznam celého spektra naráz.

Typická naměřená data pomocí Theta-SE 

Technologie Dual-Rotation umožňuje velmi přesné elipsometrické měření v širokém spektru, s možnostmi charakterizace vzorků na základě přístupů SE, g-SE i MM-SE.

Celý koncept tohoto nového elipsometru je optimalizován pro rychlé a precizní mapování s fokusací na povrch vzorku, novátorský přístup k polohování vzorku kombinující dva rotační stolky pro translaci waferu je toho jasnou ukázkou. Nyní už nemusíte čekat dlouhé hodiny na přesné zmapování i velkých optických povrchů. Třešničkou na dortu je příznivá cena zařízení včetně pokročilého analytického softwaru CompleteEASE.

Mapovací spektroskopický elipsometr Theta-SE

Mapovací spektroskopický elipsometr Theta-SE

Rychlý spektroskopický elipsometr pro přesné mapování a charakterizaci vrstev