Laserový interferometr Zygo Verifire 6

---

Zadání a požadavky klienta

Sférointerferometr pro precizní měření kvality povrchu rovinné i sférické optiky v reflexní i transmisní konfiguraci.

Kompletní sestava určená do čistých prostor, včetně speciální úpravy optického stolu se samonivelačními pneumatickými izolátory.

Sada ultrapřesné referenční optiky pro vysoce přesná měření.

Naše řešení

Laserový Fizeau interferometr Verifire 6” od předního amerického výrobce Zygo Inc. (Ametek) s anti-vibračním stolem od TMC (Ametek). Jedná se o sestavu přesného laserového interferometru s fázovým posuvem (phase shifting interferometry), s referenční optikou o kvalitě povrchu lepší než lambda/40 (PVr, @633 nm), a s optickým stolem pro izolaci vibrací. Sestava slouží k měření rovinné a sférické optiky i pro měření komplexních optických soustav. Umožňuje měřit deformaci vlnoplochy, optické aberace vyšších řádů a jejich porovnání s modelovými daty pro následnou optimalizaci výroby. Možný je též export i import dat pro simulaci (například pomocí SW Zemax) a porovnání rozdílu mezi modelem měřeného dílu a reálně naměřenými výsledky. Samozřejmostí je mód QPSI umožňující velmi přesná měření i v turbulentních podmínkách, nebo například motorizovaný kontinuálně nastavitelný optický zoom 1x - 5x. Dodaná sestava anti-vibračního stolu je speciálně upravená pro správné fungování v čistých prostorách.

Parametry zařízení

• Laserový zdroj: Stabilizovaný HeNe, 632.8 nm, prodloužená záruka, výrobce: Zygo
• Průměr měřicího svazku: 6” (150 mm)
• Optický zoom: kontinuální v rozsahu 1x - 5x, motorizovaný
• SW: Špičkový software Mx™ vyvíjený na míru pro potřeby měření a analýzy optických povrchů pomocí optické interferometrie

Související produkty

Další fotografie