Poptat řešení
KLA Instruments - Logo
KLA Instruments

Aplikační oblasti:

Měření výšky stupňů, drsnosti, zakřivení a napětí tenkých vrstev v prostředí výzkumu i výroby

Alpha-Step® D-600 Stylus Profiler

Alpha-Step® D-600 je stylusový profilometr schopný měřit 2D a 3D výšku stupňů od několika nanometrů do 1200 µm. Podporuje také měření drsnosti, zakřivení a napětí tenkých vrstev. Je vybaven motorizovaným stolem pro vzorky do 200 mm a pokročilou optikou s barevnou kamerou s vysokým rozlišením.

Klíčové vlastnosti

  • Rozsah výšky stupňů: od nanometrů do 1200 µm
  • Nízká síla: 0,03 – 15 mg
  • 5MP barevná kamera s vysokým rozlišením
  • Keystone korekce – odstranění zkreslení z boční optiky
  • Arc korekce – odstranění chyby způsobené obloukovým pohybem hrotu
  • Kompaktní velikost systému
  • Uživatelsky přívětivý software
Richard Schuster
Odborný poradce

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Zaslat poptávku

  • Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
  • Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
  • Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis
S čím dalším můžeme pomoci

Popis produktu

Alpha-Step® D-600 umožňuje 2D a 3D měření povrchů – výšky stupňů, drsnosti, zakřivení a napětí tenkých vrstev. Inovativní technologie optické páky poskytuje vysoké rozlišení měření, velký vertikální rozsah a možnost měřit s nízkou silou.

Výhodou stylusové metody je přímé měření nezávislé na vlastnostech materiálu. Nastavitelná síla a možnost volby hrotu umožňuje přesná měření široké škály struktur a materiálů. Díky tomu lze kvantifikovat množství naneseného či odstraněného materiálu i změny ve struktuře pomocí měření drsnosti a napětí.

Aplikace

  • Step Height: 2D a 3D měření výšky stupňů (nanometry – 1200 µm), kvantifikace materiálu po procesech leptání, naprašování, SIMS, depozice, spin coatingu, CMP aj.
  • Texture: měření 2D a 3D drsnosti a vlnitosti; výpočet parametrů jako RMS drsnost.
  • Form: měření zakřivení povrchů (2D), např. waferů nebo čoček.
  • Stress: měření napětí tenkých vrstev (2D) podle změny zakřivení povrchu; výpočet Stoneyho rovnicí.

Odvětví

  • Univerzity, výzkumné laboratoře a ústavy
  • Polovodičový a sloučeninový polovodičový průmysl
  • LED (světelné diody)
  • Solární technologie
  • MEMS – mikroelektromechanické systémy
  • Automobilový průmysl
  • Medicínská zařízení
  • A další (na vyžádání)

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.

Odborný poradce

Richard Schuster

Ing. Richard Schuster

tel: +420 601 123 593
mail: schuster@optixs.cz