Filmetrics® F54

Filmetrics® F54 umožňuje rychlé a snadné mapování tloušťky tenkých vrstev na vzorcích až do 450 mm. Motorizovaný R-Theta stůl se automaticky přesouvá na zvolené měřicí body a poskytuje měření rychlostí až dva body za sekundu. Autofokus a mikroskopická velikost měřicího bodu jsou standardní součástí tohoto pokročilého systému.

Přístroj lze během několika minut připojit k uživatelskému notebooku a začít měřit. Systém obsahuje desítky předdefinovaných mapovacích vzorců (polární, pravoúhlé nebo lineární), s možností tvorby vlastních vzorců s neomezeným počtem měřicích bodů.

• Polovodiče – amorfní a polysilikon: měření optických konstant (n a k) i tloušťky vrstev a podvrstev včetně SiO₂, jedním kliknutím.
• Polovodiče – dielektrika: měření tloušťky SiO₂ (od 3 nm do 1 mm), indexu lomu Si₃N₄ a dalších dielektrických vrstev.
• Displeje – vrstvy ITO/TCO: měření vrstev oxidu india a cínu, polyimidů, hardcoatů, vrstev LCD a OLED.
• Povlaky pro medicínské aplikace: katétry, balonky, stenty, vodiče, jehly, implantáty, včetně povlaků pro dodávku léčiv.
• OLED displeje: robustní, bezkontaktní metrologie prototypů i plně pixelovaných displejů, možnost detekce chemických změn.
• Fotorezisty: tloušťka a rychlost leptání jednovrstvých i vícevstvé struktury (např. SU-8, Dow BCB).
• Porézní křemík: jedinečný algoritmus pro měření tloušťky, indexu a pórovitosti vrstev.
• Křemíkové wafery a membrány: měření tloušťky waferů a membrán z materiálů jako Si, safír, křemenné sklo, SiC, LiTaO₃, GaN, sklo.