Filmetrics® F54-XY-200 a F54-XY-300

Řada Filmetrics® F54-XY poskytuje automatizované mapování tloušťky tenkých vrstev, indexu lomu, odrazivosti, absorpce a drsnosti povrchu na vzorcích až do 300 mm. Nabízí pět konfigurací s rozsahem měření od 4 nm do 120 µm a velikostí měřicího bodu od 2 µm do 100 µm.

Klíčové vlastnosti

Podpora měření strukturovaných i nestrukturovaných vzorků
Konfigurace s rozsahy vlnových délek 190 – 1700 nm
Minimální velikost měřicího bodu 5 µm
Autofokus a rozpoznávání vzorů
Bezpečnostní kryt s blokováním (interlock)
Živý video obraz
Podpora vzorků do průměru 300 mm
Uživatelsky definovatelné mapovací body (pravoúhlé, lineární, polární i vlastní konfigurace)
Manuální nebo automatické zarovnání vzorku
Pokročilá historie pro ukládání, reprodukování a vykreslování výsledků
Vestavěné referenční a tloušťkové standardy
Rozsáhlá knihovna materiálů a pokročilé modelovací algoritm

Odborný poradce

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Zaslat poptávku

OptiXs care

Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis

S čím dalším můžeme pomoci

Popis produktu

Automatizované systémy Filmetrics® F54-XY-200 a F54-XY-300 měří tloušťku tenkých vrstev na strukturovaných i nestrukturovaných vzorcích do průměru 200 mm, resp. 300 mm. Mapování probíhá pomocí pokročilého systému spektrální reflektance a algoritmů Filmetrics.

Kompaktní systém přináší přesné polohování měření do výrobních aplikací. Motorizovaný XY-200 stůl se automaticky přesouvá na specifikovaná měřicí místa a poskytuje výsledky rychlostí až dva body za sekundu. Měření waferů o průměru 300 mm je podporováno díky přídavnému vysoce výkonnému rotačnímu stolu v konfiguraci F54-XYT-300.

Aplikace

Polovodičové procesní filmy – měření tloušťky polysilikonu, fotorezistů, oxidů, nitridů a vrstev SOI; měření ztenčeného křemíku.
Sloučeninové polovodiče – měření tloušťky a optických vlastností vrstev a waferů (např. GaN, SiC).
LCD displeje – měření mezer buněk a tloušťky polyimidů, vrstev ITO a TCO.
Optické povlaky a elektrooptické filmy – měření tloušťky hardcoatů, antireflexních vrstev a filtrů (modelování více než 10 vrstev).
Povlaky pro medicínské aplikace – měření tloušťky a homogenity parylenu a dalších ochranných povlaků na implantátech; možnost automatizovaného měření pole vzorků.
MEMS – měření tloušťky fotorezistů, křemíkových membrán a dielektrických vrstev, mapování homogenity pro odhalení vad.

Parametry

Konfigurace F54-XY – zvolte vhodný model podle rozsahu měření

Model	Rozsah tloušťky*	Spektrální rozsah
F54-XY	20 nm – 50 µm	380 – 1050 nm
F54-XY-UV	4 nm – 35 µm	190 – 1100 nm
F54-XY-NIR	100 nm – 120 µm	950 – 1700 nm
F54-XY-EXR	20 nm – 120 µm	380 – 1700 nm
F54-XY-UVX	4 nm – 120 µm	190 – 1700 nm

* V závislosti na materiálu a objektivu.

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.