K používání a měření webu využíváme cookies. Používáním tohoto webu souhlasíte se způsobem, jakým s cookies nakládáme. Další informace

Optické profiloměry

Výrobce

Typické využití

Optické profiloměry

Optické profilometry a drsnoměry Zygo na bázi CSI (Coherent Scanning Interferometry) využívající interferenci bílého světla (WLI: White-light interferometry) jsou systémy pro vysoce přesné, bezkontaktní 3D měření topografie povrchu materiálu a tenkých vrstev. Sub-nanometrové vertikální rozlišení je nezávislé na zorném poli.

Typické využití:

  • Drsnoměr: bezkontaktní měření drsnosti povrchu (dle ISO 25178) po mechanickém opracování
  • Profiloměr: zobrazení a precizní metrologie povrchového profilu v mikroměřítku
  • Měření větších ploch: možnost sešívání (stitching) dat pro metrologii ve větším měřítku
  • Měření výšky schodu (step-height)
  • Metrologie optických povrchů
  • Analýza topografických dat
  ZeGage Pro
NewView 9000 Nexview NX2 Nomad 
Konfigurace Stolní Pracovní stanice Pracovní stanice Přenosný
Opakovatelnost topografie povrchu až 0.15 nm 0.08 nm 0.06 nm 0.12 nm
Opakovatelnost RMS ("vertikální rozlišení") až 0.01 nm 0.008 nm 0.005 nm 0.01 nm
Maximální rychlost skenu v ose z 171 µm/s 171 µm/s 171 µm/s 15 µm/s
Zorné pole až 9 mm až 17,5 mm až 17,5 mm až 12 mm
Dodatečný optický zoom Ne Ano (volitelně) Ano Ne
Měření v režimu True Color Ne Ne Ano Ne
Měření transparentních filmů a tenkých vrstev Ne Ano Ano Ne
Optický drsnoměr ZeGage Pro

Optický drsnoměr ZeGage Pro

Robustní 3D optický drsnoměr s opakovatelností až 0,01 nm

Optický profiloměr NewView 9000

Optický profiloměr NewView 9000

Bezkontaktní modulární 3D profiloměr pro širkou škálu aplikací

Optický profilometr NexView NX2

Optický profilometr NexView NX2

Nejlepší bezkontaktní optický 3D profiloměr a drsnoměr na trhu s opakovatelností RMS až 0,005 nm

Zygo objektivy

Zygo objektivy

Speciální objektivy Zygo pro optické profiloměry