Mikroskopie v průmyslu směřuje ke sledování stále menších a menších struktur zkoumaných vzorků, a to na úrovni nanometrů. Pro mnoho aplikací se používají optické měřící metody, jelikož je lze použít na téměř všechny druhy materiálů a jelikož jsou vhodné i pro citlivé vzorky. Vysoce přesné konfokální principy poskytují topografii vzorku a struktury drsnosti nejen kvalitativně, ale také kvantitativně pomocí metody dotykového měření. Piezo polohovací systémy od PI významně přispívají v této oblasti díky vysoké přesnosti v řádech nanometrů a vysoké dynamice polohování.

P-725 PIFOC – Objektivový scanner s dlouhým rozsahem polohování

• Rozsah polohování objektivu v ose Z od 120 do 460 µm
• Jemné polohování objektivů se sub-nanometrovým rozlišením
• Vysoce přesný systém pro lepší stabilitu zaostření a skenování v Z
• Vynikající životnost díky piezoelektrickým PICMA aktuátorům
• Přímé měření polohy díky kapacitním sensorům, nejvyšší linearita
• Průměr apertury až do 29 mm

P-721 PIFOC – Vysoce přesný objektivový scanner

• Rozsah polohování až 140 µm, s usazovacím časem v řádech ms
• Jemné polohování objektivů se sub-nanometrovým rozlišením
• Průměr apertury až do 29 mm
• Výborná stabilita a minimální posun objektivu díky paralelnímu vedení
• Nejvyšší linearita díky technologii přímého měření polohy s kapacitními senzory
• Snadná instalace díky QuickLock závitu

PD72Z1x – PIFOC Objektivový skenovací systém 100 µm

• Kompletní systém s objektivovým skenerem, digitálním controllerem, softwarem a volitelným QuickLock závitovým adaptérem
• Rozsah polohování 100 µm
• Rozlišení 1nm (closed loop)
• Jemné polohování objektivů se sub-nanometrovým rozlišením
• Přímé odměřování polohy díky kapacitním senzorům
• Během provozu lze měnit všechny parametry servopohonu

P-737 – PIFOC polohovací systém pro skenování vzorků v Z

• Rozsah polohování od 100 µm do 500 µm
• Nízký profil 20 mm
• Široká apertura 128.5 mm x 86.5 mm pro umístění kultivačních destiček
• Tuhé vedení, velká nosnost, izolace vibrací a otřesů
• 100% kompatibilita s vakuem
• Práce v širokém teplotním rozsahu -20°C až +80°C

ND72Z2LAQ – PIFOC Objektivový skenovací systém 2000 µm

• Kompletní systém s objektivovým skenerem, digitálním controllerem, softwarem a M32 QuickLock závitovým adaptérem
• Rozsah polohování 2000 µm
• Rozlišení senzoru 0.5 nm
• Vysoce dynamický krok a usazení při snímání Z-stacků
• Bezkontaktní optické enkodéry pro přesné odměřování polohy s vysokou přesností
• Během provozu lze měnit všechny parametry servopohonu

P-541.Z / P.541.T – Z- piezo osa a Tip/Tilt platforma

• Rozsah polohování až 150 µm
• Nízký profil 16.5 mm pro snadnou integraci, středová apertura 80 mm x 80 mm
• Tip/tilt úhel až 1.2 mrad
• Paralelní kinematika pro rychlejší doby odezvy a vyšší přesnost polohování
• Tenzometrické nebo kapacitní senzory pro vyšší výkon a rozlišení polohování
• Pro delší rozsahy polohování je možnost kombinace s mikroskopickými stolky

P-620.1 – P-629.1 – PIHera Piezo lineární vysoce přesný pozicionér

• Rozsah polohování od 50 do 1800 µm
• Variabilní rozsahy pojezdu a konfigurace os (X, XY, Z, XYZ)
• Rozlišení až 0.1 nm
• Bezkontaktní kapacitní senzory se subnanometrickým rozlišením, zajištění výborné linearity pohybu (linearity error 0.02%)
• Vakuově kompatibilní verze k dispozici (do úrovně vakua 10^-9 hPa)
• Dlouhá životnost díky celo keramickým piezo aktuátorům PICMA

P-517/P-527 – Víceosý piezoskener

• Rozsah polohování až 200 µm
• K dispozici jsou XY a XYθ_Z  verze
• Bezkontaktní kapacitní čidla umožňují přímé měření se subnanometrickým rozlišením a garantují výbornou linearitu pohybu a dlouhodobou stabilitu polohy
• Díky piezo vedení (flexure guide) nevyžaduje piezoskener žádnou údržbu, mazání, je bez tření a s minimálním opotřebením
• Tuhá konstrukce zajišťuje vysokou nosnost (až 5 kg), je necitlivá na otřesy a vibrace
• Kompatibilita s vakuem, práce v širokém teplotním rozsahu (-20°C až +80°C)

P-561/P-562 – PIMars vysoce přesný nano polohovací systém pro až 3 osy

• Rozsah polohování až 300 × 300 × 300 µm
• Paralelní kinematika pro rychlejší doby odezvy a vyšší přesnost polohování ve více osách
• Bezkontaktní kapacitní senzory s rozlišením až 0.1nm, zajištění výborné linearity pohybu (linearity error 0.01%)
• Vysoká dynamika polohování
• Středová apertura o rozměrech 66 mm x 66 mm
• Kompatibilita s vakuem až do úrovně 10-9 hPa